目前能够满足超精密定位需求的驱动机构主要有: 静压丝杠、直线电机、摩擦驱动机构和滚珠丝杠,他们都在实践中获得了优于10nm 的分辨率。在实现纳米级分辨率和定位精度的同时, 工业应用中更重要的是要采用成熟可靠的机械机构、简单的控制结构和算法, 并且易于维护、经济性好。
磨床是利用磨具对工件表面进行磨削加工的机床。 大多数的磨床是使用高速旋转的砂轮进行磨削加工,少数的是使用油石、砂带等其他磨具和游离磨料进行加工,如珩磨机、超精加工机床、砂带磨床、研磨机和抛光机等。
磨床能加工硬度较高的材料,如淬硬钢、硬质合金等;也能加工脆性材料,如玻璃、花岗石。磨床能作高精度和表面粗糙度很小的磨削,也能进行高效率的磨削,如强力磨削等
力士乐丝杠对磨床的精度影响并不是很大。并不是磨床越精密丝杠就一定更精密,磨床精度受主轴的影响更大。还有机械设备的精度,零件精度靠加工保证,整机或者部件进度靠结构、装配、调整来保证。
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